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El analizador de concentración de gas Picarro SI2205 ofrece mediciones ultraprecisas de partes por billón (ppt) de fluoruro de hidrógeno (HF) en un diseño compacto, confiable y fácil de usar. El SI2205 puede ponerse en servicio y funcionar en cuestión de minutos, no requiere calibración de campo ni consumibles y puede funcionar durante meses sin interacción del usuario. Monitoreo AMC en tiempo real en salas limpias, FOUP y equipos de fábrica Análisis rápido y continuo en segundos Prácticamente sin tiempo de inactividad ni costo de consumibles Sin interferencias de químicos comunes de fábrica Precisión extrema para la confirmación de eventos No se requiere calibración de campo Especificaciones de rendimiento Especificaciones del sistema Gas de mantenimiento detectado Fluoruro de hidrógeno (HF) Precisión (1σ) ≤30 ppt (10 s), ≤10 ppt (100 s) Límite inferior detectable (3σ) 30 ppt Límite de detección del método (según Semi C10-1109) 500 ppt Linealidad (según IEC 61207) ±1 % Precisión en el rango ±5 % a escala completa Precisión a cero ±25 ppt Consistencia instrumento a instrumento ±5 % a escala completa ±25 ppt a cero Rango de medición 0-1 ppm Intervalo de medición * < 4 s Caudal de muestra ~2 slpm Tiempos de respuesta combinados (T90/10 + T10/90) @ 20 ppb <3 min Tiempos de caída T90/10 @ 20 ppb <1 min * -El intervalo de medición en el tramo puede aumentar hasta 2 veces los valores indicados. Técnica de medición Espectroscopía de cavidad anular Recomendación del período de calibración No se requiere calibración: validación inicial a los 6 meses, luego cada 12 meses Tiempo requerido para realizar la validación Estimado en <15 minutos según las instrucciones del fabricante Control de temperatura de la celda de medición ±0,005 °C Control de presión de la celda de medición ±0,0002 atm Temperatura de funcionamiento 15 a 35 °C (en funcionamiento); -10 a 50°C (almacenamiento) Humedad ambiental <99% HR sin condensación Accesorios Bomba (externa, incluida), teclado (incluido), mouse (incluido), monitor LCD (opcional), kit de mantenimiento (opcional) Interfaces de comunicación RS-232, Ethernet, USB, analógico 0–10 V, Modbus, 4-20 mA (opcional) Conexión de entrada de muestra Conector de tubo Swagelok® de acero inoxidable de 1/4" (tubo de PFA de 1/4" de diámetro externo recomendado) Dimensiones Analizador: 17" ancho × 8,38" alto x 24,4" profundidad (43,2 × 21,3 × 62 cm) Peso 73 lbs (33,18 kg) incluida la bomba externa Requisitos de alimentación 100–240 VCA, 47–63 Hz (detección automática), <400 W (total): 250 W (analizador), 150 W (bomba) en estado estable Garantía 12 meses Certificaciones Conformidad CE País de fabricación EE. UU. Componentes/Piezas Acciones Frecuencia Filtro de partículas Reemplazar Cada 6 meses Validación de mediciones Validación de proxy Cada 12 meses Reconstrucción de bomba (diafragma) Mantenimiento preventivo cada 2 años Reemplazar conjuntos de ventiladores Mantenimiento preventivo cada 2 años Reemplazo de bomba externa Cada 5 años
