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El analizador de concentración de gas AMC SI3401 ofrece mediciones en tiempo real de amoníaco (NH 3 ), ácido clorhídrico (HCI) y ácido fluorhídrico (HF). Diseñado para su uso en fábricas, el analizador SI3401 permite a los operadores identificar y abordar rápidamente eventos de contaminación que pueden afectar el rendimiento de las obleas. Utilizando la espectroscopia de anillo de cavidad (CRDS) altamente selectiva, sensible y precisa de Picarro, el analizador SI3401 presenta: Sensibilidad de partes por billón (ppt) No se requiere calibración de campo, solo verificación anual con una mezcla de gases proxy de CH 4 , CO 2 y O 2 Mediciones rápidas y continuas en segundos Mantenimiento mínimo sin consumibles Especificaciones de rendimiento Especificaciones del sistema Gas de mantenimiento detectado HCl HF NH 3 H 2 O Precisión ≤75 ppt (10 s), ≤25 ppt (100 s) ≤40 ppt (10 s), ≤13 ppt (100 s) ≤300 ppt (10 s), ≤100 ppt (100 s) ≤20 ppt + (8 x %H 2 O)(10 s), ≤10 ppt + (4 x %H 2 O)(100 seg) Límite inferior detectable (100 s, 3σ) 75 ppt 40 ppt 300 ppt 30 ppt Límite de detección del método según Semi C10-1109) 250 ppt 500 ppt 500 ppt 40 ppt Linealidad ±1% ±1% ±1% ±1% Precisión @ span ±5% @ escala completa ±5% @ escala completa ±5% a escala completa ±5% a escala completa Precisión a cero ±50 ppt ±25 ppt ±150 ppt ±40 ppm Consistencia instrumento a instrumento ±5% a escala completa ±50 ppt% a cero ±5% a escala completa ±25 ppt% a cero ±5% a escala completa ±150 ppt% a cero ±5% a escala completa ±40 ppt% a cero Rango de medición 0-2 ppm 0-1 ppm 0-10 ppm 0-40000 ppm Intervalo de medición < 9s <5s <9s Caudal de muestra ~2 slpm Tiempos de respuesta combinados (T90/10 + T10/90) a 20 ppb <3 min <20 s (desafío de 10 000 ppm) Tiempos de caída (T90/10 a 20 ppb) <1 min <10 s (10 000 desafío de ppm) Técnica de medición Espectroscopía de cavidad anular Temperatura de funcionamiento 15 a 35 °C (en funcionamiento); -10 a 50 °C (almacenamiento) Humedad ambiental <99 % HR sin condensación Accesorios Bomba (externa, incluida), teclado (incluido), mouse (incluido), monitor LCD (opcional) Salidas RS-232, Ethernet, USB Conexión de entrada de muestra Accesorio para tubo Swagelok® de acero inoxidable de 1/4" (tubo PFA recomendado de 1/4" de diámetro exterior) Dimensiones Analizador: 16,7" ancho × 8,4" alto x 24,8" profundidad (43 × 21,3 × 63 cm) Peso 70 lbs (31,75 kg) incluida la bomba Requisitos de alimentación 100–240 VCA, 47–63 Hz (detección automática), <400 W (total): 250 W (analizador), 150 W (bomba) en estado estable Garantía 12 meses Certificaciones Conformidad CE País de fabricación EE. UU. Componentes/Piezas Acciones Frecuencia Filtro de partículas Reemplazar Cada 6 meses Validación de medición Validación de proxy Cada 12 meses Reconstrucción de bomba (diafragma) Mantenimiento preventivo cada 2 años Reemplazar conjuntos de ventiladores Mantenimiento preventivo cada 2 años Reemplazar bomba externa Cada 5 años
