SAMS SAM-S y SAM-C
En las fábricas de semiconductores, las herramientas de proceso están distribuidas en grandes salas blancas y varios pisos. Los controladores de aire recirculan la mayor parte del aire dentro de una sala limpia, lo que puede propagar rápidamente los AMC. Los diseños de muestreadores tradicionales degradan el rendimiento del analizador individual utilizando un colector lineal que limita el caudal de gas a cada analizador. Como resultado, los muestreadores tradicionales relegan el rendimiento del analizador al mínimo común denominador. En última instancia, el tiempo para detectar un AMC se ve afectado, lo que puede provocar una falsa alarma o incluso perder un evento de AMC por completo. El diseño superior de los sistemas SAM está optimizado para garantizar el rendimiento combinado más alto, utilizando un sistema de multiplexación no lineal pendiente de patente que permite altos caudales de gas, minimiza la contaminación entre puertos e