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Los compuestos orgánicos volátiles (COV) y los compuestos inorgánicos dentro del proceso de litografía causan defectos en las retículas, oscurecimiento de la óptica del escáner y otros problemas graves que dañan las costosas herramientas de litografía y pueden provocar una pérdida de rendimiento. El sistema de monitoreo de litografía Picarro SLiM 100 es un sistema de detección de clase 1 ppb que integra los analizadores de espectroscopia de anillo de cavidad (CRDS) líderes en la industria de Picarro en un sistema de muestreo de alto rendimiento específicamente para monitorear COV en la fábrica. El sistema SLiM 100 es un sistema de medición en tiempo real diseñado para funcionar las 24 horas del día, los 7 días de la semana en un entorno fabuloso. Es un sistema de metrología química totalmente integrado que es robusto, fácil de operar e ideal para usar como sistema de control y monitoreo de procesos de gran volumen. El Picarro SLiM 100 tiene la capacidad de medir 10 compuestos orgánicos que afectan negativamente el proceso de litografía con una sensibilidad de concentración de hasta 1 parte por mil millones. El sistema también puede acomodar analizadores que miden moléculas inorgánicas en niveles de concentración de partes por billón. Especificaciones del sistema Configuraciones Mantenimiento Gas detectado COV: ácido acético, acetona, siloxano D3, HMDSO, IPA, PGME, TMS, siloxano D6, NMP, PGMEA Inorgánico (opcional): NH3, HF, HCl, SO2, H2S (según la elección de analizadores de la tabla a continuación) Línea de muestreo Tubo UHP-PFA de 1/2" de diámetro exterior x 3/8" de diámetro interior Número de puertos 24 o 32 Dimensiones Bandeja del teclado cerrada 79" (H) × 34" (W) x 38" (D) 2012 mm (H) × 864 mm (W) × 971 mm (D) Bandeja del teclado abierta 79" (H) × 34" (W) × 46" (D) 2012 mm (H) x 864 mm (W) × 1172 mm (D) Peso (sin analizadores) Puerto 24: 203 kg (447 lb) Puerto 32: 218 kg (482 lb) Agregue 34 kg (75 lb) para cada analizador Requisitos de alimentación 220-240 VCA monofásico, 50/60 Hz, 20 A Comunicación Ethernet TCP/IP, RESTful API Garantía 12 meses Certificaciones CE, SEMI S2 País de fabricación EE. UU. Analizadores Gases medidos Analizador de VOC VOC-10 * SI3401 NH 3 , HF, HCl SI2205 HF SI2108 HCl SI2104 H 2 S SI2306 HF, NH 3 SI2103 NH 3 SI5450 SO 2 *-VOC (ácido acético, acetona, siloxano D3, HMDSO, IPA, PGME, TMS, siloxano D6, NMP, PGMEA) Números de pieza (otras combinaciones disponibles) SL100-24-EK00 Sistema AMC de 24 puertos para NH 3, HF, VOC SL100-32-K000 Sistema AMC de 32 puertos para VOC SL100-32-AK00 Sistema AMC estacionario de 32 puertos para NH 3, HF, HCl, VOC Componentes/Piezas Acciones Frecuencia Filtro cero Reemplazar cada 6 meses Filtro de partículas - Analizador Reemplazar cada 6 meses Bomba - Analizador Mantenimiento preventivo Reconstrucción (diafragma) Cada 2 años Conjuntos de ventiladores - Analizador Mantenimiento preventivo Cada 2 años Bomba externa - Analizador Reemplazar cada 5 años
