Caracterización de lodo CMP, suspensión de alta concentración (Apn-16SD009)
Caracterización de lodo de CMP, suspensión de alta concentración (Apn-16SD009)
Recuento de partículas en suspensión de alta concentración
El proceso CMP (planarización químico-mecánica) utiliza una suspensión coloidal para pulir las superficies de las obleas semiconductoras. La presencia de impurezas o partículas sobredimensionadas debe cuantificarse constantemente durante la producción de purines. Ipac 2 CMP ofrece un método completo para mejorar el recuento de partículas en suspensiones de lodos.
La plataforma IPAC 2 se basa en dispositivos de imágenes de alta gama y células de microchip de última generación.
Dónde ponemos nuestros esfuerzos:
Aumento de la detección de las partículas más finas mediante el uso de un banco óptico dedicado con una resolución de 172 nm/píxel.
Reduzca la dilución de la muestra; al usar un espesor de celda de 50 µ podemos reducir, o incluso eliminar, la dilución de la muestra (normalmente 1:1; 1:10; 1:100). La dilución de muestra más baja mejora la confiabilidad de la medición y la estabilidad de la muestra.
Dispositivo de iluminación e imágenes de alta estabilidad, eliminamos la deriva del dispositivo de adquisición (en comparación con los dispositivos de oscurecimiento de luz estándar)
Función de fondo dinámica, este software inteligente compara cada imagen con la anterior y permite el reconocimiento solo de partículas en movimiento. Esto significa que la suciedad de la celda se filtrará y no se contará como partículas, lo que nos brindará los resultados de conteo más precisos.
Método de medición directa.
Información y método del dispositivo y de la muestra
Instrumento: IPAC 2
Calibración: 172 nm/píxel
Tamaño del sensor de la cámara: 12 megapíxeles
Grosor de celda: 50 µm
Dilución de la muestra: 1:1 (sin diluir)
Tipo de muestra: suspensión de sílice coloidal
Tipo de bomba: jeringa de precisión
Identificación de partículas
Durante la medición, la cámara adquiere y procesa las imágenes en tiempo real, hasta 18 imágenes procesadas por segundo. Todas las partículas visibles en la imagen están identificadas y almacenadas en las clases de tamaño correspondientes. La distribución del conteo se actualiza continuamente hasta el final del análisis. La tabla adyacente muestra cuatro partículas en diferentes rangos de tamaño.
