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El analizador SI5450 ofrece el poder de la espectroscopía láser de alta sensibilidad en un diseño compacto, robusto y fácil de usar. Emplea un láser de infrarrojo medio que mide eficazmente la concentración de gas SO 2 con un alto grado de exactitud y precisión. Ofrece ventajas significativas en comparación con las técnicas de medición AMC actuales, como la espectrometría de movilidad iónica (IMS), la cromatografía iónica, la espectroscopia de masas y la fluorescencia UV. Las técnicas heredadas sufren las deficiencias de los altos costos de propiedad, las deficiencias de rendimiento y las bajas velocidades de respuesta. Monitoreo AMC en tiempo real en salas limpias, FOUP y equipos de fábrica Análisis rápido y continuo en segundos Prácticamente sin tiempo de inactividad ni costo de consumibles Sin interferencias de químicos comunes de fábrica Precisión extrema para la confirmación de eventos Especificaciones de rendimiento Especificaciones del sistema Mantenimiento Gas detectado Dióxido de azufre (SO 2 ) Precisión (1σ) ≤360 ppt (10 s), ≤120 ppt (100 s), ≤70 ppt (300 seg) Límite inferior detectable (3σ) 350 ppt (100 s), 200 ppt (300 s), 140 ppt (600 s) Linealidad (según IEC 61207) ±1 % Precisión en el rango ±5 % a escala completa Precisión a cero ±300 ppt Consistencia instrumento a instrumento ±5 % a escala completa ±300 ppt a cero Rango de medición 0-1000 ppb Intervalo de medición * < 5 segundos Caudal de muestra ~0,2 slm Tiempos de respuesta combinados (T90/10 + T10/90) a 20 ppb (húmedo) <30 segundos Tiempos de caída T90/10 a 20 ppb (húmedo) <15 segundos Técnica de medición Espectroscopia de cavidad de anillo hacia abajo Recomendación del período de calibración No se requiere calibración: validación inicial a los 6 meses, luego cada 12 meses posteriores Tiempo necesario para realizar la validación Estimado en <15 minutos según las instrucciones del fabricante Control de temperatura de la celda de medición ±0,005 °C Control de presión de la celda de medición ±0,0002 atm Temperatura de funcionamiento 15 a 35 °C (en funcionamiento); -10 a 50 °C (almacenamiento) Humedad ambiental <99 % HR sin condensación Accesorios Bomba (externa, incluida), teclado (incluido), mouse (incluido), monitor LCD (opcional), kit de mantenimiento (opcional) Interfaces de comunicación RS-232, Ethernet, USB, Modbus, 4-20 mA (opcional) Conexión de entrada de muestra Conector de tubo Swagelok® de acero inoxidable de 1/4" (recomendado) Tubo de PFA de 1/4" de diámetro exterior) Dimensiones Analizador: 16,63" de ancho x 8,75" de alto x 30,25" de profundidad (42,24 x 22,22 x 76,84 cm) Peso 75 lbs (34 kg), incluida la bomba externa Requisitos de alimentación 100–240 VCA, 47–63 Hz (detección automática), <400 W (total): 250 W (analizador), 150 W (bomba) en estado estable Garantía 12 meses Certificaciones Conformidad CE País de fabricación EE. UU. Componentes/Piezas Acciones Frecuencia Filtro de partículas Reemplazar Cada 6 meses Validación de mediciones Validación de proxy Cada 12 meses Reconstrucción de bomba (diafragma) Mantenimiento preventivo cada 2 años Reemplazar conjuntos de ventiladores Mantenimiento preventivo cada 2 años Reemplazo de bomba externa Cada 5 años
